一.产品概述
激光干涉仪是以光波为载体，以光波波长为单位的一种计量测试方法，是公认的高精度、高灵敏度的检测手段，在高端制造领域应用广泛。
SJ6000激光干涉仪产品采用美国进口高稳频氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术、高精度环境补偿模块、几何参量干涉光路设计、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术，实现各种参数的高精度测量。通过激光热稳频控制技术，实现快速(5~10分钟)、高精度(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出，采用不同的光学镜组可以测量出线性、角度、直线度、平面度和垂直度等几何量，并且可以进行动态分析。
二、产品功能
SJ6000激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快、最高测速下分辨率高、测量范围大等优点。通过与不同的光学组件结合，可以实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何精度的测量。在相关软件的配合下，还可以对数控机床进行动态性能检测，可以进行机床振动测试与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性分析等，具有极高的精度和效率，为机床误差修正提供依据。
三.工作原理
激光器发射单一频率光束射入线性干涉镜，然后分成两道光束，一道光束（参考光束）射向连接分光镜的反射镜，而第二道透射光束（测量光束）则通过分光镜射入第二个反射镜，这两道光束再反射回到分光镜，重新汇聚之后返回激光器，其中会有一个探测器监控两道光束之间的干涉（见图）。若光程差没有变化时，探测器会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。
若光程差有变化时，探测器会在每一次光程变化时，在相长性和相消性干涉的两极之间找到变化信号，这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。
特点优势
1、应用范围广：可实现对线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测；在相关软件的配合下，还可以对数控机床进行动态性能检测，如可以测量数控机床的定位精度、重复定位精度、微量位移精度等动态参量，可以进行机床振动测试与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性分析等。
2、测量精度高：以激光干涉技术为核心，测量结果可达纳米级；采用高精度环境补偿模块，解决了温度、空气压力、相对湿度、材料温度等环境因素对测量结果的影响；使用激光热稳频控制系统，保证激光长期稳频精度；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热变形，保证干涉光路稳定。
3、采用先进的PSD技术（光电位置敏感检测器，可将光敏面上的光点位置转化为电信号），光路调节迅速、方便。一次安装能测量6项精度指标包括线性定位误差、XX及YY两个方向直线度、偏摆角、俯仰角、滚动角。
4、内置各种类国标（GB）、ISO（国际）、BS（英制）、美标、DIN（德标）、JIS（日标）等机床检验标准。具有动态测量分析功能，能够实时采集、显示数据，可进行快速测量分析。
5、安装方便：基本重量为15kg，简单便携；云台自带三维水平校正仪，安装调光方便；断光无影响，方便导轨的安装调试；
6、界面友好，更符合中国用户操作习惯；
7、测量记录采用集中式数据库管理，可按被测件类型、生产单位、出厂编号、检定员、送检单位、设备编号、检定日期和有效日期等查询和管理检定记录；
8、可从数据库中选定多条记录成批打印检定记录或者检定证书；
9、可将检定数据输出到Word、Excel、AutoCAD（选配）文档；
10、具有数据备份和还原数据库功能；
11、输出多种Word格式报表，并支持完全的自定义报表，定制检定记录报表和检定证书的格式，特别适合国内计量机构对报表方面的要求。
